国家标准《工业三氯氢硅》 由TC63（全国化学标准化技术委员会）归口，TC63SC1（全国化学标准化技术委员会无机化工分会）执行 ，主管部门为中国石油和化学工业联合会。

主要起草单位 浙江新安化工集团股份有限公司 、唐山三孚硅业股份有限公司 、山东新龙科技股份有限公司 、浙江开化合成材料有限公司 、云南冶金云芯硅材股份有限公司 、重庆新申世纪化工有限公司 、中海油天津化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 叶世胜 、王春英 、苗乃芬 、郑云峰 、徐远志 、申静 、胡家啟 、孙亮 、李通 、陈道伟 、杨红燕 、刘晓霞 、杨裴 、郭永欣 。