国家标准《表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法》 由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 清华大学电子工程系 。

主要起草人 查良镇 、陈旭 、王光普 、黄雁华 、黄天斌 、刘林等 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14606:2000。

采标中文名称:表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法。