国家标准计划《表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 北京师范大学 、中国计量科学研究院 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16531:2020。

采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法。