国家标准《表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 北京师范大学分析测试中心 、清华大学分析中心 。

主要起草人 吴正龙 、姚文清 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TR 22335:2007。

采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率。