国家标准《表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 清华大学 、中国石油大学（北京） 。

主要起草人 姚文清 、段建霞 、杨立平 、王雅君 、李展平 、徐同广 、王岩华 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 17109:2015。

采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法。