国家标准计划《表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。 拟实施日期：发布后3个月正式实施。

主要起草单位 清华大学 、中国矿业大学（北京） 、中国人民公安大学 、北京大学 、中山大学 、中国工程物理研究院材料研究所 。

主要起草人 李展平 、郭冲 、章宇娟 、刘婕 、满瀚泽 、孙令辉 、徐建业 、李芹 、马静怡 、周凌 、胡小康 、陈建 、伏晓国 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14606:2022。

采标中文名称:表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法。