国家标准计划《表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 清华大学 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14606:2022(E)。

采标中文名称:表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法。