国家标准计划《表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 中石化石油化工科学研究院有限公司 、季华实验室 、中国计量科学研究院 、河北工程大学 、国家纳米科学中心 。

主要起草人 邱丽美 、范燕 、王海 、侯俊先 、武春霞 、忻睦迪 、徐鹏 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 23170:2022。

采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析。