国家标准《表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国计量科学院 。

主要起草人 王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16531:2013。

采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准及相关电流或电流密度测量。