国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法》 由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 。

主要起草人 马农农 、陈潇 、何友琴 、王东雪 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 12406:2010。

采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法。