国家标准计划《硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 、重庆大学 、东南大学 、中国电子科技集团第四十九研究所 、中机生产力促进中心 。

主要起草人 夏伟锋 、熊斌 、冯飞 、戈肖鸿 、周再发 、李玉玲等 。