国家标准《硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心 、大连理工大学 、东南大学 、北京青鸟元芯微系统科技有限公司 。

主要起草人 张大成 、王玮 、李海斌 、杨芳 、黄贤 、何军 、刘冲 、刘伟 、周再发 、刘军山 、李婷 、姜博岩 。