国家标准《硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心 、中国电子科技集团第十三研究所 、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 、西北工业大学 。

主要起草人 张大成 、王玮 、刘伟 、杨芳 、姜森林 、崔波等 。