国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期：发布即实施。

主要起草单位 昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司 、中用科技有限公司 、中机生产力促进中心有限公司 、苏州大学 、成都航天凯特机电科技有限公司 、武汉大学 、北京智芯微电子科技有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、昆山双桥传感器测控技术有限公司 、中国科学院微电子研究所 、重庆宸硕测控技术有限公司 、苏州市质量和标准化院 、苏州慧闻纳米科技有限公司 、上海新微技术研发中心有限公司 、苏州科技大学 、苏州晶方半导体科技股份有限公司 、太原航空仪表有限公司 、山东中科思尔科技有限公司 、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司 、河北初光汽车部件有限公司 。

主要起草人 陈立国 、江大白 、李根梓 、刘会聪 、蒋礼平 、刘胜 、方东明 、夏长奉 、王冰 、周维虎 、钟鸣 、张硕 、孙旭辉 、夏燕 、娄亮 、程新利 、杨剑宏 、陈志文 、张中飞 、胡增 、商艳龙 、王阳俊 、高峰 、卢弈鹏 、袁长作 、仲胜利 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-37:2020。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第37部分：传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法。