国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布即实施。
主要起草单位 合肥美的电冰箱有限公司 、中机生产力促进中心有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、苏州大学 、微纳感知(合肥)技术有限公司 、宁波科联电子有限公司 、西北工业大学柔性电子研究院 、美的集团股份有限公司 、中国电子科技集团公司第三十八研究所 、上海临港新片区跨境数据科技有限公司 、北京晨晶电子有限公司 。
主要起草人 马卓标 、李根梓 、曹诗亮 、胡永刚 、孙立宁 、许磊 、王雄伟 、王学文 、王春举 、钱峰 、张森 、张红旗 、张启心 、汤一 。
20221869-T-469 正在审查
31 电子学 |
31.080 半导体分立器件 |
31.080.99 其他半导体分立器件 |
本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-14:2012。
采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第14部分:金属薄膜材料成形极限测量方法。