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国家标准化指导性技术文件登记项目《微机电系统(MEMS)技术 芯片封装凸点高度测量方法 光学三角法》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布即实施。

主要起草单位 中国科学院微电子研究所中机生产力促进中心有限公司中国计量科学研究院深圳中科飞测科技股份有限公司易思维(杭州)科技股份有限公司北京工业大学北京微电子技术研究所中国科学院空天信息创新研究院江苏影速集成电路装备股份有限公司中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所东莞子芯微系统科技有限公司广东工业大学上海大学机械工业仪器仪表综合技术经济研究所中关村光电产业协会唐人制造(嘉善)有限公司中国科学院软件研究所天津大学中国计量大学华天科技(昆山)电子有限公司江苏盘古半导体科技股份有限公司华天科技(江苏)有限公司深圳市君安微半导体有限公司

主要起草人 张滋黎周维虎李根梓王启东康岩辉孟繁昌张宇张鹏斌尹仕斌陈洪芳李冬梅麻云凤贾志立李世光王继虎周再发张昱路秀真宋彦彦唐亮王璞唐熊忻林嘉睿杨凌辉沈小燕马书英赵凯蔡佳生张坤

目录

项目进度

当前登记项目

20254927-Z-469 正在征求意见

微机电系统(MEMS)技术 芯片封装凸点高度测量方法 光学三角法

征求意见稿

基础信息

登记号
20254927-Z-469
制修订
制定
项目周期
12个月
登记日期
2025-08-28
标准类别
方法
国际标准分类号
31.080.99
31 电子学
31.080 半导体分立器件
31.080.99 其他半导体分立器件
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

张滋黎
周维虎
康岩辉
孟繁昌
尹仕斌
陈洪芳
贾志立
李世光
张昱
路秀真
王璞
唐熊忻
沈小燕
马书英
张坤
李根梓
王启东
张宇
张鹏斌
李冬梅
麻云凤
王继虎
周再发
宋彦彦
唐亮
林嘉睿
杨凌辉
赵凯
蔡佳生

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