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硅单晶抛光片

Monocrystalline silicon polished wafers
国家标准 推荐性 废止

国家标准《硅单晶抛光片》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 北京有色金属研究总院 。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止

基础信息

标准号
GB/T 12964-2003
发布日期
2003-06-16
实施日期
2004-01-01
废止日期
2019-06-02
全部代替标准
GB/T 12964-1996
标准类别
产品
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

代替以下标准

全部代替 GB/T 12964-1996

被以下标准代替

被 GB/T 12964-2018 GB/T 12964-2018 全部代替

起草单位

北京有色金属研究总院

相近标准(计划)

 硅单晶抛光片
20151794-T-469  硅单晶抛光片
GB/T 12964-2018  硅单晶抛光片
 碳化硅单晶抛光片
20200799-T-469  碳化硅单晶抛光片
20080028-T-469  300mm 硅单晶抛光片
20110061-T-469  碳化硅单晶抛光片
GB/T 30656-2014  碳化硅单晶抛光片
GB/T 29506-2013  300mm 硅单晶抛光片
SJ/T 11502-2015  碳化硅单晶抛光片规范
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