国家标准 - 全国标准信息公共服务平台

国家标准《硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位北京有色金属研究总院。

目录

标准状态

代替了以下标准

GB/T 12964-1996 （全部代替）

当前标准

GB/T 12964-2003 废止

硅单晶抛光片

被以下标准替代

GB/T 12964-2018 （全部代替）

硅单晶抛光片

基础信息

标准号: GB/T 12964-2003
发布日期: 2003-06-16
实施日期: 2004-01-01
废止日期: 2019-06-01
上次复审日期: 2016-12-31
上次复审结论: 修订
全部代替标准: GB/T 12964-1996

标准类别

产品

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

29 电气工程

29.045 半导体材料

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准委

起草单位

北京有色金属研究总院

相近标准(计划)

20260517-T-469 300mm硅单晶抛光片

20250822-T-469 200mm碳化硅单晶抛光片

SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范

GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片

GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片

GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片

SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

GB/T 47082-2026 碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法

GB/T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片

版权所有侵权必究
主管：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
技术支持：北京中标赛宇科技有限公司
支持电话：010-82261036
备案号：京ICP备18022388号-1