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国家标准《硅单晶抛光片》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 北京有色金属研究总院

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 12964-2003
发布日期
2003-06-16
实施日期
2004-01-01
被代替日期
2019-06-02
全部代替标准
GB/T 12964-1996
标准类别
产品
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

代替以下标准

全部代替 GB/T 12964-1996

被以下标准代替

GB/T 12964-2018 GB/T 12964-2018 全部代替

起草单位

相近标准(计划)