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国家标准《硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位北京有色金属研究总院。

目录

标准状态

代替了以下标准

GB/T 12964-1996 （全部代替）

当前标准

GB/T 12964-2003 废止

硅单晶抛光片

被以下标准替代

GB/T 12964-2018 （全部代替）

硅单晶抛光片

基础信息

标准号: GB/T 12964-2003
发布日期: 2003-06-16
实施日期: 2004-01-01
废止日期: 2019-06-01
全部代替标准: GB/T 12964-1996

标准类别

产品

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

29 电气工程

29.045 半导体材料

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准委

起草单位

北京有色金属研究总院

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