国家标准《工业三氯氢硅》 由TC63（全国化学标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国石油和化学工业联合会。

主要起草单位 浙江新安化工集团股份有限公司 、中海油天津化工研究设计院 、泰安光明硅业有限公司 、荆州市华翔化工有限公司 、成都化工股份有限公司等 。

主要起草人 叶世胜 、杨裴 、范国强 、李长亭 、张莹 、韩科等 。