国家标准《硅单晶抛光试验片规范》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 宁波立立电子股份有限公司 、杭州海纳半导体有限公司 。

主要起草人 宫龙飞 、何良恩 、许峰 、黄笑容等 。