国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中机生产力促进中心 、西安交通大学 、天津大学 、中原工学院 。

主要起草人 丁红宇 、张苹 、刘伟 、蒋庄德 、景蔚萱等 。