注册

国家标准《微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 中机生产力促进中心西安交通大学天津大学中原工学院

主要起草人 丁红宇张苹刘伟蒋庄德景蔚萱等

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 26113-2010
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
标准类别
基础
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
31 电子学
31.200 集成电路、微电子学
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

相近标准(计划)