国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 制造能力评估 第1部分：总则》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京晨晶电子有限公司 、中机生产力促进中心有限公司 、华东光电集成器件研究所 、无锡华润上华科技有限公司 、苏州晶方半导体科技股份有限公司 、北京智芯微电子科技有限公司 、深圳市速腾聚创科技有限公司 、中国航天时代电子有限公司 、西安现代控制技术研究所 、中车株洲电力机车研究所有限公司 、六方半导体科技（宁波）有限公司 、启元实验室 、无锡吴越物芯科技有限公司 、沈阳国仪检测技术有限公司 、北京科技大学 、清华大学 、无锡华润微电子有限公司 、北京大学南昌创新研究院 、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 、安徽大学 、芯联集成电路制造股份有限公司 、北京自动化控制设备研究所 、中国科学院微电子研究所 、北京遥感设备研究所 、西安思微传感科技有限公司 、广东中科半导体微纳制造技术研究院 、广州增芯科技有限公司 、华芯拓远（天津）科技有限公司 。

主要起草人 汤一 、李根梓 、要彦清 、陈博 、夏长奉 、杨剑宏 、何建忠 、王琦 、何凯旋 、方东明 、杨旸 、邢朝洋 、刘奎 、吕阳 、侯晓伟 、武晓宇 、董接莲 、李中鑫 、闻小龙 、卢克动 、金文超 、陈得民 、朱振宇 、张乐银 、姚阳文 、章熙岭 、王永胜 、陈晓梅 、张波 、姬峰 、王淞立 、赵德胜 、彭坤 、陈东华 。