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《微机电系统（MEMS)技术微几何量评定总则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。

目录

基础信息

计划下达日期: 2013-12-30
项目周期: 2014年完成
发布日期: 2016-12-13

归口单位: 全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位: 全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门: 国家标准委

翻译承担单位

中机生产力促进中心

西安交通大学

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