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国家标准《锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 电子十一所

目录

标准状态

当前标准

GB/T 11297.6-1989 现行

锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法
修订计划

20065635-T-469 暂缓

锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法

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基础信息

标准号
GB/T 11297.6-1989
发布日期
1989-03-31
实施日期
1990-01-01
标准类别
方法
中国标准分类号
L32
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

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