国家标准《锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 电子十一所 。
GB/T 11297.6-1989 现行
20065635-T-469 暂缓