国家标准计划《氧化镓外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 杭州富加镓业科技有限公司 、微著半导体科技（苏州）有限公司 、厦门大学 、福州大学 、中国计量科学研究院 。