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行业标准《硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法》，主管部门为工业和信息化部。

目录

标准状态

基础信息

标准号: YS/T 23-2016
发布日期: 2016-04-05
实施日期: 2016-09-01
全部代替标准: YS/T 23-1992

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040

77 冶金

77.040 金属材料试验

主管部门

工业和信息化部

行业分类

制造业

备案信息

备案号：54464-2016。

备案公告： 2016年第6号。

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