行业标准《异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有研新材料股份有限公司 、上海晶盟硅材料有限公司 。

主要起草人 马林宝 、杨帆 、葛华等 。

备案号：50403-2015。

备案公告： 2015年第7号 。

本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。