国家标准《氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、苏州纳维科技有限公司 、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 、有色金属技术经济研究院 、东莞市中镓半导体科技有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。

主要起草人 郑树楠 、张育民 、石林 、邱永鑫 、王建峰 、徐科 、付雪涛 、杨素心 、丁晓民 、陆敏 、杨建 。