国家标准《硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、中电晶华(天津)半导体材料有限公司 、有研半导体材料有限公司 、河北普兴电子科技股份有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、义乌力迈新材料有限公司 。
主要起草人 骆红 、潘文宾 、杨素心 、赵扬 、赵而敬 、张佳磊 、李慎重 、黄黎 、严琴 、黄宇程 、皮坤林 。
GB/T 14146-2009 (全部代替)
GB/T 14146-2021 现行
77 冶金 |
77.040 金属材料试验 |