国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京晨晶电子有限公司 、中机生产力促进中心有限公司 、芯联集成电路制造股份有限公司 、上海无线电设备研究所 、中电科芯片技术（集团）有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、电子科技大学 、浙江舜辉光学科技有限公司 、中国航天时代电子有限公司 、北京智芯微电子科技有限公司 、东南大学 、中国科学院重庆绿色智能技术研究院 、西安现代控制技术研究所 、左蓝微（江苏）电子技术有限公司 、上海新微技术研发中心有限公司 、宁波中车时代传感技术有限公司 、浙江大学 、北京大学南昌创新研究院 、无锡华润上华科技有限公司 、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司 、深圳市英唐智能控制股份有限公司 。

主要起草人 汤一 、李根梓 、闾新明 、贺伟炜 、周哲 、夏长奉 、孙圣 、张晓升 、宋云峰 、宋健民 、要彦清 、方东明 、周再发 、王金玉 、刘奎 、张树民 、娄亮 、王冲 、侯晓伟 、董树荣 、张舒楠 、陈得民 、张森 、陈立国 、江丽娟 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-11:2013。

采标中文名称:半导体器件微机电系统第11部分：微机电系统中无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法。