国家标准计划《光电器件用磷化铟基外延片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 江苏华兴激光科技有限公司 、中国科学院半导体研究所 、南京大学 、中国矿业大学 、云南鑫耀半导体材料有限公司 、江苏南大光电材料股份有限公司 。