国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 制造能力评估 第2部分：器件设计》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京晨晶电子有限公司 、中机生产力促进中心有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、芯联集成电路制造股份有限公司 、华为技术有限公司 、华东光电集成器件研究所 、苏州晶方半导体科技股份有限公司 、西安电子科技大学 、北京大学 、西安现代控制技术研究所 、北京自动化控制设备研究所 。

主要起草人 汤一 、李根梓 、胡永刚 、单伟中 、杨剑宏 、王志广 、张大成 、王永胜 、刘奎 、申建武 。