国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 制造能力评估 第2部分：器件设计》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 安徽北方微电子研究院集团有限公司 、中机生产力促进中心有限公司 、北京华创晨晶电子有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、苏州晶方半导体科技股份有限公司 、西安现代控制技术研究所 、北京科技大学 、北京智芯微电子科技有限公司 、中国航天时代电子有限公司 、北京自动化控制设备研究所 、无锡吴越物芯科技有限公司 、启元实验室 、东南大学 、北京遥感设备研究所 、芯联集成电路制造股份有限公司 、杭州电子科技大学 、六方半导体科技（宁波）有限公司 、西安思微传感科技有限公司 、清华大学 、中北大学 、南京高华科技股份有限公司 、中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 、中国电子科技集团公司第四十九研究所 、郑州炜盛电子科技有限公司 。

主要起草人 陈博 、李根梓 、何凯旋 、王文婧 、汤一 、要彦清 、夏长奉 、何建忠 、管倩峰 、杨剑宏 、王琦 、刘奎 、张波 、李建华 、方东明 、邢朝洋 、王永胜 、董接莲 、武晓宇 、周再发 、蒋志勇 、闾新明 、轩伟鹏 、侯晓伟 、王淞立 、申建武 、卢克动 、王任鑫 、李晓波 、周铭 、刘智辉 、钱磊 、汪继芳 、高胜国 、蒋会杰 。