国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 制造能力评估 第2部分：器件设计》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京晨晶电子有限公司 、中机生产力促进中心有限公司 。

主要起草人 汤一 、李根梓 。