《微机电系统(MEMS)技术 制造能力评估 第1部分:总则》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准委。
国内外尚无MEMS制造能力评价的相关标准,本标准外文版的制定,有利于国内外MEMS领域科学技术的持续交流,也有助于提高中国标准的国际影响力。