国家标准计划《电子气体 蚀刻用混合气体》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、大连大特气体有限公司 、浙江理工大学嵊州创新研究院有限公司 、杭州新世纪混合气体有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、中国计量科学研究院 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、液化空气（中国）投资有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 。