地方标准《电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法》由福建省化学工业气体标准化技术委员会归口上报，主管部门为福建省质量技术监督局。

主要起草单位 国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建） 。

主要起草人 林宇巍 、陈熔 、陈华 、邹震 、林永荣 、张凤利 、陈小娟 、叶树海 、郑江琳 。

备案号：35487-2013。

备案公告： 2013年第1号 。

本标准规定了用气相色谱法测定电子工业用锗烷气体中杂质含量的方法。 本标准适用于电子工业用锗烷气体中氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。 各杂质组分的检测限：氢：0.02 μmol/mol、氧（氩）：0.01 μmol/mol、氮：0.01μmol/mol、甲烷：0.005 μmol/mol、一氧化碳：0.02 μmol/mol、二氧化碳：0.005μmol/mol；各杂质组分检测线性范围：氢、氧（氩）、氮≤1000μmol/mol，甲烷、一氧化碳、二氧化碳≤2000μmol/mol。