国家标准《电子气体 惰性稀有气体》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、衢州杭氧特种气体有限公司 、华测检测认证集团股份有限公司 、河南心连心深冷能源股份有限公司 、福建德天宸新材料科技有限公司 、湖北和远气体股份有限公司 、北京控制工程研究所 、河北邯钢特种气体有限公司 、大连华邦化学有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、中石化（北京）化工研究院有限公司 、重庆瑞信气体有限公司 、北京普瑞分析仪器有限公司 、深圳捷工科技股份有限公司 、三峡公共检验检测中心 、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 、福建恒申电子材料科技有限公司 、北京首钢气体有限公司 、中国计量科学研究院 、布鲁克（北京）科技有限公司 、中海油能源发展股份有限公司安全环保分公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、浙江泓芯半导体有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、杭州新世纪混合气体有限公司 、中国计量大学 、中国计量测试学会 、联雄投资(上海)有限公司 、昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、超谱科技（成都）有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、液化空气（中国）投资有限公司 、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处 、宿州伊维特新材料有限公司 、贵州省产品质量检验检测院 、朗析仪器（上海）有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 胡迎 、汪晗 、陈桂淋 、郭英阁 、崔增涛 、戚芮甲 、曹素英 、潘振环 、江罗 、方强 、宋飞 、樊超 、马卫东 、陈利斌 、侯鹏 、钱吉 、傅铸红 、陈艳珊 、吴长江 、侯秀华 、魏昕 、江月军 、金星屹 、史兰 、刘军航 、王露 、谢磊 、滕鑫胜 、郑阳光 、马彬淇 、廖鸿昌 、赵光明 、李晓 、尹冬梅 、王漫 、赵跃 、蔡长青 、孙福楠 、王飞华 、兰锋 、吴宁捷 、张琦炎 、方华 、郑新蕊 、程欣 、张金波 、张静 、杨扬仲夫 、黄辉 、高静 、曲强 、何波 、黄小强 、房嵩 、殷昊 、李明 、宫兵 、任希辉 、谈益强 、尹乐乐 、李建浩 、程化鹏 、周鹏云 、唐霞梅 。