国家标准计划《超高纯锗》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 安徽光智科技有限公司 、中国原子能科学研究院 、广东先导稀材股份有限公司 、深圳大学 、朝阳金美镓业有限公司 。