国家标准《电子工业用气体 锗烷》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 上海华爱色谱分析技术有限公司 、佛山市华特气体有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建) 、西南化工研究设计院 。

主要起草人 方华 、裴友宏 、郭秀丽 、林宇巍 、陈熔 、周鹏云 。