国家标准计划《电子气体 三氟化硼-11B》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昊华化工科技集团股份有限公司 、昊华气体有限公司 、山东成武易信环保科技有限公司 、山东合益气体股份有限公司 、山东重山光电材料股份有限公司 。