国家标准计划《氮化铝单晶抛光片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、奥趋光电技术（杭州）有限公司 、北京中材人工晶体研究院有限公司 、江苏第三代半导体研究院有限公司 、北京大学 、深圳大学 、北京大学东莞光电研究院 、中电晶华（天津）半导体材料有限公司 。

主要起草人 张丽 、何烜坤 、程红娟 、王英民 、贺东江 、李素青 、姚康 、吴亮 、周振翔 、王琦琨 、齐海涛 、于彤军 、武红磊 、王新强 、李明达 。