国家标准计划《氮化铝单晶抛光片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、北京大学 、深圳大学 、中国电子科技集团公司第十三研究所 。
20240138-T-469 正在起草
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