国家标准计划《氧化镓单晶抛光片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 杭州富加镓业科技有限公司 、北京中材人工晶体研究院有限公司 、杭州镓仁半导体有限公司 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 、江苏芯长征微电子集团股份有限公司 、扬帆半导体（江苏）有限公司 。