国家标准计划《氧化镓单晶抛光片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 杭州富加镓业科技有限公司 、杭州镓仁半导体有限公司 、苏州镓和半导体有限公司 、北京昌龙智芯半导体有限公司 、扬帆半导体材料(江苏)有限公司 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 、北京中材人工晶体研究院有限公司 、绍兴市质量技术监督检测院 、江苏芯长征微电子集团股份有限公司 、中铝乾星（成都）科技有限责任公司 、朝阳金美镓业有限公司 、上海镓驰动力科技有限公司 、北京大学东莞光电研究院 、南京大学 、同济大学 、山东大学 、浙江天通电子信息材料研究院有限公司 、无锡华润微电子有限公司 、北京铭镓半导体有限公司 、河北普兴电子科技股份有限公司 。

主要起草人 齐红基 、陈端阳 、夏宁 、陈萍 、黄浩天 、李瑞评 、吴忠亮 、朱文渊 、张嵩 、赵鹏 、王颖 、沈忠昀 、朱阳军 、王同波 、汪洋 、张广银 、刘强 、叶建东 、唐慧丽 、贾志泰 、张瑞标 、胡志皓 、孟冬冬 、周晓龙 、周顺 。