《电子气体 砷化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
高纯砷化氢主要应用在半导体产业中，用于外延硅N型掺杂，N型扩散，离子注入，砷化镓、磷砷化镓等材料生长，半导体化合物制造等方面。
除应用在半导体产业外，高纯砷化氢还可以应用在光电子、微波、光伏等行业中。
近年来，随着大规模集成电路技术的进步，市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。
在此背景下，为提升电子特气科技水平发展，现申请立项制定《电子气体 砷化氢》国家标准英文版。
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