国家标准《电子工业用气体 砷化氢》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 西南化工研究设计院 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、光明化工研究设计院 。

主要起草人 孙福楠 、方华 、周鹏云 、庄鸿涛等 。