国家标准《电子气体 羰基硫》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 福建久策气体股份有限公司 、河南心连心深冷能源股份有限公司 、天津绿菱气体有限公司 、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 、华测检测认证集团股份有限公司 、福建德尔科技股份有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、金宏气体股份有限公司 、江西华特电子化学品有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、北京高麦克仪器科技有限公司 、太和气体（荆州）有限公司 、三峡大学 、湖北和远气体股份有限公司 、兰州裕隆气体股份有限公司 、杭氧集团股份有限公司 、衢州杭氧特种气体有限公司 、液化空气（中国）投资有限公司 、浙江省计量与标准化学会 、浙江省标准化研究院 、浙江中硝康鹏化学有限公司 、玉门大洋天庆石化有限责任公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、中国计量科学研究院 、上海凡伟仪器设备有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、杭州新世纪混合气体有限公司 、上海市计量测试技术研究院 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、哈尔滨黎明气体有限公司 、中国测试技术研究院化学研究所 、空气化工产品（中国）投资有限公司 、中国计量测试学会 、北京睿信捷环保科技有限公司 、浙江西亚特电子材料有限公司 、浙江东开半导体科技有限公司 、和立气体（上海）有限公司 、昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、眉山麦克在线设备股份有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 曹素英 、毛玉凤 、汤萍 、吴禹强 、郑梦杰 、郑秋艳 、倪珊珊 、蔡金 、黄斌斌 、傅铸红 、陈艳珊 、金向华 、孙猛 、廖恒易 、李磊 、孙福楠 、郭琼 、胡迎 、牛艳东 、刘丽娜 、阳辉 、汪正宏 、袁有录 、杜大艳 、曹小林 、方强 、尹爱华 、王小波 、何晖 、李春胜 、齐婕 、朱安民 、张孛媛 、朱明 、王子源 、金雪光 、马彬淇 、方华 、孙震 、赵爽 、黄辉 、王德发 、尹冬梅 、何波 、唐中伟 、史婉君 、宫兵 、杨金山 、鲍光强 、王见见 、魏王慧 、郝萍 、常侠 、边鲁宁 、邵成刚 、周鑫 、王晶 、杨扬仲夫 、赵洁 、杨利 、王立 、梁永强 、高静 、张艺山 、赖晓峰 、周鹏云 、唐霞梅 。