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晶片表面微粒沾污测量和计数的方法
行业标准-YS 有色金属
推荐性
现行
行业标准《晶片表面微粒沾污测量和计数的方法》,主管部门为
中国有色金属工业总公司
。
目录
标准状态
发布
于 1992-03-09
实施
于 1993-01-01
废止
基础信息
标准号
YS/T 27-1992
发布日期
1992-03-09
实施日期
1993-01-01
主管部门
中国有色金属工业总公司
行业分类
无
备案信息
备案号:1850-1992。
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