国家标准计划《电子级水中微粒的仪器测试方法》由 339-1（工业和信息化部（电子））归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 上海集成电路材料研究院有限公司 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 、苏州国家实验室 、中国电子技术标准化研究院 、上海市计量测试技术研究院有限公司 、杭州格林达电子材料股份有限公司 、浙江微兰环境科技有限公司 、上海中欣晶圆半导体科技有限公司 、苏州苏净仪器自控设备有限公司 、默克化工技术（上海）有限公司 、上海旭昂电子科技有限公司 、上海澜博塞恩斯技术有限公司 、上海集材汇智集成电路技术有限公司 、集材科技（上海）有限公司 、天津市罗根科兴科技有限公司 。

主要起草人 俞文杰 、毛新齐 、徐文涛 、史泽远 、吴立敏 、陈海刚 、陈科 、包胜娟 、孙吉勇 、曹可慰 、刘兵 、李子超 、王恒 、杨修 、陈思 、黄清发 、李春华 、陈金龙 、曲丹丹 、常燕 、张国华 、吴怡然 、梁凤飞 、陈鹰 、樊勇 、李萌 、赵俊莎 、王莉 、孙浩 、曲飞云 。