国家标准《半导体器件 微机电器件 MEMS总规范》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中机生产力促进中心 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、中北大学 、南京理工大学 、大连理工大学 。

主要起草人 李海斌 、崔波 、刘伟 、石云波 、裘安萍 、施芹 、杨拥军 、刘冲 。

本标准修改采用IEC国际标准：IEC 62047-4:2008。

采标中文名称:半导体器件 微机电装置 第4部分:MEMS总规范。