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国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后3个月正式实施。

主要起草单位 东南大学 、华为技术有限公司 、佛山市川东磁电股份有限公司 、中机生产力促进中心 、浙江博亚精密机械有限公司 、沈阳国仪检测技术有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、北京大学 、中北大学 、中国科学院电子学研究所 、北京必创科技股份有限公司 。

主要起草人 王磊 、黄创君 、于振毅 、陆学贵 、朱悦 、夏长奉 、黄庆安 、龙克文 、石云波 、李海斌 、肖昆辉 、郑凤杰 、张威 、程逸轩 、马书嫏 、陈得民 。

目录

项目进度

当前标准计划

20171125-T-469 已发布

微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
已发布标准

基础信息

计划号
20171125-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2017-07-21
标准类别
方法
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
31 电子学
31.200 集成电路、微电子学
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

王磊
黄创君
朱悦
夏长奉
石云波
李海斌
张威
程逸轩
于振毅
陆学贵
黄庆安
龙克文
肖昆辉
郑凤杰
马书嫏
陈得民

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