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国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 北京大学中机生产力促进中心北京智芯传感科技有限公司无锡华润上华科技有限公司中北大学北京必创科技股份有限公司

主要起草人 张威李海斌张亚婷朱悦夏长奉石云波陈得民马书嫏程红兵周浩楠

目录

项目进度

当前标准计划

20171124-T-469 已发布

微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
已发布标准

基础信息

计划号
20171124-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2017-07-21
标准类别
方法
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
31 电子学
31.200 集成电路、微电子学
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

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