国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后3个月正式实施。

主要起草单位 苏州市质量和标准化院 、中机生产力促进中心有限公司 、苏州揽芯微纳科技有限公司 、东南大学 、苏州市标准化协会 、美满芯盛（杭州）微电子有限公司 、深圳市中图仪器股份有限公司 、四川富生电器有限责任公司 、深圳市美思先端电子有限公司 、中国合格评定国家认可中心 、深圳市道格特科技有限公司 。

主要起草人 张硕 、顾枫 、李根梓 、沈俊杰 、俞骁 、周再发 、王敏锐 、贾建国 、许百宏 、许克宇 、王志远 、刘志广 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-26:2016。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第26部分：微沟槽和针结构的描述和测量方法。