国家标准《微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 天津大学 、中机生产力促进中心 、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心 、南京理工大学 、中国电子科技集团公司第十三研究所 。

主要起草人 胡晓东 、郭彤 、于振毅 、李海斌 、程红兵 、裘安萍 、崔波 、朱悦 。