国家标准计划《半导体器件 机械和气候试验方法 第7部分：内部水汽测量和其他残余气体分析》由 TC78（全国半导体器件标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。 拟实施日期：发布后3个月正式实施。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、中国电子科技集团公司第二十四研究所 、达仁智能科技（佛山）有限公司 、深圳市轴心自控技术有限公司 、广东阿达智能装备有限公司 。

主要起草人 黄东巍 、杨迪 、李锟 、罗俊 、谭骁洪 、颜天宝 、王本正 、贺云波 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 60749-7:2011。

采标中文名称:半导体器件-机械和气候试验方法-第7部分：内部湿气测量和其他残余气体分析。